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マイクロ マシン ノ ケイソク ヒョウカホウ
マイクロマシンの計測評価法 = Measurement and evaluation methods of micromachine
(MMCテクニカル・レポート = MMC technical report ; MMC TR-S002(01)-2000)

データ種別 図書
出版者 東京 : マイクロマシンセンター
出版年 2000.6
本文言語 日本語,英語
大きさ ix,369p ; 21cm

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本館-単行本
530/Mai 1100820313



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別書名 異なりアクセスタイトル:マイクロマシンの計測評価法
著者標目 マイクロマシンセンター <マイクロマシン センター>
件 名 BSH:マイクロマシン
分 類 NDC8:530
NDC9:530
書誌ID 1000085449
NCID BA47245887

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