Introduction to microlithography / edited by Larry F. Thompson, C. Grant Willson, Murrae J. Bowden
(ACS professional reference book)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 2nd ed |
| 出版者 | Washington, DC : American Chemical Society |
| 出版年 | 1994 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 先端生命医科学研究所 |
|
427/Tho | 1101087623 |
|
0841228485 |
|
予約不可 |
書誌詳細を非表示
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Thompson, L. F., 1944- Willson, C. G. (C. Grant), 1939- Bowden, M. J., 1943- |
| 件 名 | LCSH:Microlithography -- Congresses
全ての件名で検索
LCSH:Photoresists -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Plasma etching -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductors -- Etching -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 書誌ID | 1000122485 |
| ISBN | 0841228485 |
| NCID | BA3402261X |
目次／あらすじ